7月6日消息,球首
工艺数据显示,大幅减少贵金属铱的消耗。衬底单片成本降幅超过80%,全球氧化镓产业长期受限于2至4英寸小尺寸产能瓶颈,高压电网、低导通损耗的材料优势。全球首条兼容6英寸与8英寸的氧化镓同质外延量产线正式全面投产。自研铸造法可稳定生长超厚氧化镓晶体,难以适配新能源、
同质外延晶格完美匹配衬底,该产线产出的外延片厚度超过10微米,技术水平领先海外同类方案至少三年。膜厚均匀性方差低于1%,
在此之前,特高压等领域大批量工业化制造需求。
首批6英寸(100)面氧化镓同质外延晶圆已同步交付国内头部晶圆厂开展器件试样验证。
目前多家海外企业及科研机构已陆续下单,衬底加工到同质外延的全流程量产链路。本次产线投产正式推动氧化镓从实验室研发迈入商业化批量供货阶段。
小尺寸晶圆单批芯片产出少、无需新建专属产线。
氧化镓适配800V车载快充、
技术层面,
配合超薄衬底加工技术,
8英寸工艺已同步完成技术验证并预留扩产空间,这条兼容产线可直接复用国内现有成熟晶圆制造设备,